Книга "ТРИЗ - теория решения изобретательских задач."

Краткое описание/вступление:

невой
разводке - почти последняя операция в технологическом
процессе изготовления ИС, а сам цикл длится 3-4 месяца,
то потеря даже одной пластины кремния - это дорого.
А их теряли сотнями!

   Что предлагается для ускорения получения положительного
решения?

   Первое. Не надо бояться полученного результата, который
не укладывается в рамки наших знаний. Технология - это,
грубо говоря, "сборная солянка". В нее входит целый набор
разделов науки и техники и, пожалуй, поэтому при различных
соотношениях возможны абсолютно непонятные эффекты и
явления.





















   Легко сказать - не бояться, а как ? Что предпринять, чтобы не
бояться?
   Изучайте РТВ и тренируйте смелость в мыслях !

   ВТОРОЕ. Надо четко сформулировать первое противоречие - почему
это не должно быть, и почему это есть ?

   Например, травитель для окисла НЕ ДОЛЖЕН ВЗАИМОДЕЙСТВОВАТЬ с
алюминием, так как в нем имеется плавиковая кислота, которая в такой
концентрации НЕ ДОЛЖНА ВЗАИМОДЕЙСТВОВАТЬ  с алюминием, а она,
почему-то ВЗАИМОДЕЙСТВУЕТ !

   ТРЕТЬЕ. Надо выдвинуть гипотезу. Конечно, выдвижение гипотез - дело
не легкое , но здесь важно не фантазировать, не измышлять лишних
сущностей, а смотреть - что есть в противоречии.

   Например, травление алюминия начинается не в травителе, так как
плавиковая кислота с алюминием при такой концентрации не
взаимодействует, а во время промывки пластин с алюминием в воде.
Травитель вязкий, он сцепляется с поверхностью алюминия и во время
промывки концентрация плавиковой кислоты в капле /рис 4./
понижается, и при достаточно низкой концентрации травитель
начинает взаимодействовать с алюминием.

   ЧЕТВЕРТОЕ. Теперь, имея гипотезу, надо наметить второй, противополжный
эксперимент.

   Можно воспользоваться простым правилом. Следует выбрать
такой параметр, свойство, функцию для проведения второго противополжного
эксперимента, чтобы результаты обоих дополняли друг друга ;
чтобы было два ответа, ре